SZ Valves
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KFクランプフランジ、青いロックレバー、研磨仕上げ316ボディを備えた手動三方真空バルブV-3WV
KFクランプフランジ、SZ Valves T75複動アクチュエーター、研磨仕上げ316ボディを備えた空圧式三方真空ボールバルブ
V-3WV · 手動 / NW40 · NW50 · 空圧式 · 三方​シリーズ

三方​真空バルブ、​KF NW40 / NW50

レバーの1/4回転で、真空ポンプを二つのチャンバー間で切り替えたり、ラインを大気開放したりできます。研磨仕上げの316製三方ボディ、KF(NW)フランジ NW40/NW50。手動レバー(V-3WV)または空圧式(複動または単動スプリングリターン)。

ボディ材質SS316
ねじ規格NW(KF)真空フランジ
シートPTFE
温度−20°C〜180°C(バルブ)
ポート三方、LポートまたはTポート
製品概要

しっかり止めて、長く使える。

これは空圧式の三方真空バルブです。KF(NW)クランプフランジを備えた研磨仕上げの316製三方ボールボディを、ラック&ピニオン式のエアアクチュエーターで駆動します。一回の1/4回転で、真空ポンプを一方のチャンバーから他方へ切り替えたり、ラインを大気に開放したりできるため、一台のバルブで二つの二方バルブとその間のチーズを置き換えられます。真空切替バルブとして、他のエア作動機器と同様にPLC出力から動作させられます。

サイズはNW40(1-1/2"、Ø38ボア)とNW50(2"、Ø46ボア)の二種類で、どちらも端から端まで181 mmです。三つのポートのうち二つの間で流れを切り替えるにはLポート三方バルブを、直進位置も必要な場合はTポート三方バルブをお選びください。KFクランプフランジはボルト不要です。クランプとセンターリングだけで、バルブは数秒でラインから外せます。洗浄のために開ける必要がある真空ボールバルブでは、これが重要になります。

ボディは鋳造のA351 CF8M(316)で、研磨仕上げです。CF8(304)は受注生産で対応します。シートはPTFEで、−20°C〜180°Cで使用できます。アクチュエーターは複動または単動スプリングリターンで、供給圧は4〜8 bar、ISO 5211パッドに取り付けます。台湾の真空バルブメーカーとして、すべての組立品について、サイズ選定、取り付け、サイクル試験を出荷前に行っています。

同じバルブは手動仕様(V-3WV)もあります。アクチュエーターを外し、同じISO 5211パッドにロックプレート付きの1/4回転レバーを取り付けます。ボディ、フランジ、シートは同一です。ラインの切り替えが一日に数回程度の場合や、バルブのそばにエア供給がない場合は、レバーをお選びください。ポンプ、チャンバー、ベントラインの間の切り替えを、手動で同じように行えます。

パイロットバルブも必要ですか?当社の空圧アクチュエーター用電磁弁はNAMUR直付けで、このアクチュエーターにそのままボルト固定でき、バルブと組み立て・試験済みの状態で出荷します。

バルブ二つの代わりに一台 — 別体のチーズは不要KF(NW)クランプフランジ — ボルト不要、数秒でラインから取り外しLポート/Tポート、NW40・NW50の両方に対応研磨仕上げ316ボディ、PTFEシート。CF8(304)は受注生産
技術仕様
V-3WV · 手動 — 三方真空バルブ、KF NW40 / NW50 V-3WV · 手動
空圧式 · DA / SR — 三方真空バルブ、KF NW40 / NW50 空圧式 · DA / SR
ボディ
A351 CF8M(316)、研磨仕上げ
A351 CF8M(316)、研磨仕上げ
受注生産
CF8(304)は受注生産
CF8(304)は受注生産
サイズ
NW40 (1-1/2″) · NW50 (2″)
NW40 (1-1/2″) · NW50 (2″)
ねじ規格
NW(KF)真空フランジ
NW(KF)真空フランジ
シート
PTFE
PTFE
温度
−20°C〜180°C(バルブ)
−20°C〜180°C(バルブ)
供給空気
4–8 bar (60–116 psi)
4–8 bar (60–116 psi)
ポート
三方、LポートまたはTポート
三方、LポートまたはTポート
操作方式
ロックプレート付き手動1/4回転レバー、ISO 5211パッド
ラック&ピニオン式アクチュエーター — 複動(DA)または単動スプリングリターン(SR)。SRはエア喪失時に設定位置へ戻る
用途

使用される場所

薄膜・コーティングのプロセスライン — CVD、PVD、MOCVDのプロセスラインをポンプラインから切り離し、必要に応じてトラップへ切り替えます。スクラバー・除害ライン — エッチング装置やコーティング装置で、排気をスクラバーとバイパスの間で切り替えます。粗引き・バッキングラインの切り替え — 三方バルブ一つで、チャンバーを粗引きポンプラインとバッキング/ベントラインの間で切り替えられるため、二つ目のバルブは不要です。ラボの凍結乾燥・ポンプ接続 — KFクランプフランジにより、凍結乾燥機やポンプラインへの取り付け・取り外しが工具なしでできます。
品質保証

全数、漏れ検査済み。

出荷前に1台ずつ漏れを検査しています。

よくある質問
LポートとTポートのどちらが必要ですか?

Lポートは三つのポートのうち二つを同時に接続するため、流れを一方の分岐からもう一方へ切り替えます。Tポートは三つすべてを接続することもでき、直進または混合の位置が得られます。ご注文の際に必要なパターンをお知らせください。NW40・NW50の両方で製作しています。

KF(NW)フランジは何に接続しますか?

標準のNW(ISO-KF)真空フランジです。1-1/2"バルブはNW40、2"バルブはNW50です。クランプとセンターリングで相手フランジに固定します。ボルトは使わないため、数秒でラインから外せます。

複動と単動スプリングリターンのどちらを選べばよいですか?

複動は両方向の動作にエアを使い、エアが失われると最後の位置を保持します。単動スプリングリターンは一方向にエアを使い、エアが失われるとスプリングがバルブを設定位置へ動かします。エア喪失後にラインを既知の状態にする必要がある場合は、単動スプリングリターンを選び、フェイル方向をお知らせください。

寸法図にレバーが描かれているのはなぜですか?

寸法図は、ポート位置とフランジ寸法が分かりやすいよう、レバー付きのバルブ本体を示しています。空圧式では、ハンドルの代わりに同じISO 5211パッドにアクチュエーターを取り付けます。ボディ寸法は変わりません。

電磁弁やリミットスイッチボックスを追加できますか?

はい。電磁弁、リミットスイッチボックス、ポジショナーは組立時に取り付けます。お見積りのご依頼の際に、付属品と供給エア圧(標準は4〜8 bar)をお知らせください。

手動と空圧式のどちらを選べばよいですか?

手動(V-3WV)は、オペレーターがバルブの前で時々切り替えるラインに適しています。空圧式は、遠隔操作、頻繁なサイクル、信号による切り替えに適しており、複動または単動スプリングリターンは前述のとおりです。どちらも同じボディなので、システム内で操作方式を混在させられます。

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