SZ Valves
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NW50 ISO-KFクランプフランジ付きのV-2VN空圧式真空ボールバルブ
V-2VN · 真空​シリーズ

空圧式​真空​ボールバルブ

両端にNW50(ISO-KF)クランプフランジを備え、上部にラック&ピニオン式空圧アクチュエーターを搭載した2ピース316真空ボールバルブ。フルポート、PTFEシート、複動または単動スプリングリターン。

寸法図
ボディ材質A351 CF8M (316)
接続NW50(ISO-KF / KF50)クランプフランジ
シートPTFEシート · PTFE真空シール
温度−20°C〜180°C(バルブ)
ポートフルポート
製品概要

クランプで固定。​回すのは​アクチュエーター。

空圧式の真空ボールバルブは、真空ラインに最も多く求められる日常の仕事、つまり信号による開閉を担います。NW50クランプフランジは、ISO-KFやKF50とも表記され、クランプ一つとセンタリングリングでシールします。ボルトは使わないため、バルブは数分でラインに組み込め、保守のときも同じ速さで取り外せます。電磁弁が作動すると、ラック&ピニオン式アクチュエーターがボールを1/4回転させます。フルポートのボアがコンダクタンスを高く保ち、これは真空システムが重視する点です。

V-2VNは2ピースバルブで、ボディとボールは鋳造316ステンレス(A351 CF8M)、シートと真空シールはPTFEです。クリーンで耐食性があり、アウトガスの少ない組み合わせです。アクチュエーターはISO 5211取付座に取り付け、複動(DA)または単動スプリングリターン(SR)から選べます。供給空気圧は4–8 barです。空気が失われたときにラインを閉または開の状態にフェイルさせたい場合はSRを選び、制御盤が必要とする場合は電磁弁、リミットスイッチボックス、ポジショナーを追加してください。

当社は台湾の台中で鋳造と機械加工を自社で行っており、このバルブは同じシリーズの手動版と対になります。ラインの一部をISO-Kフランジで手動切替する場合は、V-2V手動真空ボールバルブをご覧ください。お客様のブランドでのOEM生産では、鋳造、機械加工、組立のすべてが一つの工場の責任で行われます。

パイロットバルブも必要ですか。当社の空圧アクチュエーター用電磁弁はNAMUR直付けで、このアクチュエーターにそのままボルト固定でき、バルブと組み立て・試験済みで出荷します。

NW50(ISO-KF)クランプフランジ — クランプ一つでシール、ボルト不要フルポートのボアで真空コンダクタンスを高く維持316のボディとボール、PTFEシート — クリーンでアウトガスの少ない用途向けISO 5211取付座、DAまたはSR — フェイル時の位置を選択
技術仕様
型式
V-2VN
ボディ
2ピース、A351 CF8M(鋳造316)のボディとボール
サイズ
NW50 · 2″ (DN50)
接続
NW50(ISO-KF / KF50)クランプフランジ
シート
PTFEシート · PTFE真空シール
温度
−20°C〜180°C(バルブ)
供給空気
4–8 bar (58–116 psi)
ポート
フルポート
操作方式
空圧式1/4回転 — ラック&ピニオン式アクチュエーター、DAまたはSR
用途

主な用途

ポンプのフォアラインと粗引きライン — チャンバーとポンプの間を自動で遮断し、KFクランプでポンプの保守も素早く行えます。コーティング・薄膜装置 — フルポートのコンダクタンスで大きなガス負荷を流し、プロセス工程の切替を信号で行います。半導体のサブファブ支援配管 — プロセスガスパネルの外側にある設備の真空ラインで、耐久性が高く保守の少ない遮断を行います。ロードロックと試料導入チャンバー — クリーンな316とPTFEの構造で、試料の移動中にロックをラインから隔離します。遠隔・PLCシーケンス制御のシステム — アクチュエーターが指令で切り替わり、単動スプリングリターンなら空気喪失時の位置が定まります。
品質保証

全数、漏れ検査済み。

出荷前に1台ずつ漏れを検査しています。

よくある質問
NW50とは何ですか。KF50と同じですか?

はい。NW50、KF50、ISO-KF DN50は、いずれも同じクイックリリース式クランプフランジ規格を指します。クランプ一つと、Oリング付きのセンタリングリングでシールし、ボルトも締付け順序もありません。標準のKF50継手、ホース、ポンプポートにそのまま接続できます。

複動と単動スプリングリターンのどちらを注文すべきですか?

複動(DA)は両方向の動作に空気を使う、経済的な標準仕様です。単動スプリングリターン(SR)は、一方向を空気、もう一方向をスプリングで動かすため、空気が失われるとバルブは既知の位置へ移動します。ポンプとチャンバーを守るなら閉、プロセスが求めるなら開です。ラインをフェイルセーフにする必要がある場合は、SRを注文してください。

高真空に対応できますか?

粗真空から中真空の遮断向けに作られています。316のボディ、PTFEシートと真空シールにより、フォアラインや設備用途でクリーンかつアウトガスの少ない状態を保ちます。超高真空(UHV)のチャンバーには、メタルシールのバルブを使うことになります。これは別クラスの機器です。

手動の真空ボールバルブとの違いは何ですか?

二点です。操作方法とフランジです。このバルブはNW50(ISO-KF)クランプフランジで空圧により切り替わります。V-2VはISO-Kフランジ、DN80とDN100でレバー操作です。どちらも同じ2ピース316構造とPTFEシートです。ラインのサイズ、フランジ規格、コントローラーから動かす必要があるかどうかで選んでください。

お客様のブランドでのOEM注文は受けていますか?

はい。それが当社の仕事の大半です。SZ Valvesは台湾の台中で鋳造と機械加工を自社で行っているため、プライベートブランド、お客様の部品番号、書類のご要望にも対応できます。DAかSR、付属品、数量をお知らせいただければ、お見積りします。

型番、仕様書、​または写真を​お送りください。 お見積りします。

お問い合わせは日本語・英語どちらでも承ります。